Сингапурская команда разработала волноводы из дейтерированного нитрида кремния для генерации широкополосного света на пластине
Исследовательская группа Сингапурского университета технологий и дизайна и Института микроэлектроники Агентства по науке, технологиям и исследованиям Сингапура недавно разработала низкопотерный волновод из дейтерированного нитрида кремния, позволяющий осуществлять широкополосную генерацию света на чипе. Данный результат был достигнут путём замены водорода на его тяжёлый изотоп — дейтерий — при изготовлении волноводов из нитрида кремния в условиях низких температур, что демонстрирует потенциал для интеграции с КМОП-совместимыми полупроводниковыми процессами и крупномасштабного производства на уровне пластин. Соответствующая статья «Генерация сверхоктавного суперконтинуума в низкопотерных волноводах из дейтерированного нитрида кремния на уровне пластин» опубликована в журнале Optics Letters. Исследование показывает, что такой волновод чипового уровня способен расширять инфракрасные лазерные импульсы до спектрального диапазона, охватывающего от видимого красного света до глубокого инфракрасного излучения. Традиционно...
2026-08-26
