Университет Тохоку и компания Rigaku создают совместный научно-исследовательский институт рентгеновской метрологии

Университет Тохоку и компания Rigaku, входящая в холдинг Rigaku Holdings, недавно объявили о создании 1 августа 2026 года на базе Университета Тохоку института «Rigaku・Университет Тохоку: Институт совместных исследований рентгеновской метрологии Beyond The Limits» и начале совместных исследований. Срок деятельности института составляет 3 года — до 31 июля 2029 года, с возможностью продления в зависимости от полученных результатов.

Как сообщается, новый институт будет вести работу по модернизации технологий рентгеновской метрологии, разработке новых методов измерений и подготовке исследователей следующего поколения. В связи с продолжающейся миниатюризацией, многослойностью и использованием множества материалов в полупроводниковых приборах производственные процессы становятся всё более сложными, что повышает потребность в высокоточной неразрушающей оценке материалов и структур. Существующие методы измерений сталкиваются с ограничениями в оценке микроструктур и точном анализе структур по глубине, что делает разработку новых методов, таких как мягкое рентгеновское излучение, важным направлением.

Институт будет использовать преимущества оборудования для генерации синхротронного излучения следующего поколения «NanoTerasu» на базе Университета Тохоку в области мягкого рентгеновского излучения для разработки метрологических технологий, ориентированных на микроструктуры, а также, сочетая научную базу Университета Тохоку в области информационных наук с опытом компании Rigaku в рентгеновской метрологии, будет совершенствовать методы анализа данных. Стороны заявляют, что исследования не будут ограничиваться одной темой, а будут направлены на решение измерительных задач в различных областях и для различных объектов, требующих рентгеновской метрологии, включая проблемы, которые традиционные технологии решить не могут.

На начальном этапе институт будет уделять приоритетное внимание практическому применению мягкой рентгеновской метрологии в полупроводниковой отрасли, а также повышению эффективности анализа данных с использованием информационных наук. В дальнейшем полученные результаты планируется распространить на такие области, как электронные материалы и функциональные материалы, где требуется точное понимание микроструктур и состояния материалов.

Подготовка кадров также является важной задачей института. Стороны планируют предоставить возможности для систематического обучения, охватывающего основы рентгеновской метрологии, применение новых материалов и новых структур, а также рассматривают возможность включения соответствующих курсов в официальные учебные программы с начислением кредитов. Кроме того, компания Rigaku учредит систему стипендий для аспирантов, занимающихся исследовательскими проектами, связанными с рентгеновским излучением, оказывая поддержку в подготовке диссертаций на основе результатов их исследований и содействуя трансформации этих результатов в практические метрологические технологии.